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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

LPE機(jī)臺測溫儀EX-S-3FP

描述:LPE機(jī)臺測溫儀EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高溫計產(chǎn)品,在類LPE機(jī)臺上(半月形反應(yīng)腔式)被大量使用,是用于SIC外延爐基座測溫系統(tǒng)的核心部件。
訪問次數(shù): 415
更新時間: 2025-04-09

產(chǎn)品介紹

主要特點

  • 使用短波進(jìn)行低溫測量

  • 精密度高, 分辨率達(dá) 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

  • 測溫重復(fù)性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年

  • 測量速度達(dá) 1,000 值 / 秒

  • 數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)



詳細(xì)說明

LPE機(jī)臺測溫儀EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高溫計產(chǎn)品,BASF Exactus®的原創(chuàng)紅外技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢:高度敏感的電子學(xué)和優(yōu)良的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能,這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能, 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝。

BASF Exactus®系列測溫設(shè)備已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝,并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如:AIXTRON, LPE,Premtek等。另外,由于其具有很高的測溫精度和穩(wěn)定性,也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標(biāo)準(zhǔn)器使用,如Thermogauge公司。

LPE機(jī)臺測溫儀EX-S-3FP整套配置包含EI110傳感器,光纖,IFD5數(shù)字模塊,IFA5模擬模塊,綠激光筆,配套線纜及相應(yīng)的安裝支架. 精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。

典型應(yīng)用

  • RTP控溫

  • MOCVD控溫

  • MBE控溫

  • 溫度標(biāo)準(zhǔn)器



技術(shù)參數(shù)

測量參數(shù)
溫度范圍:


130 – 2200℃

工作波長:

700 - 1650 nm

測量精度:優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值
分辨率:

最高0.01℃

重復(fù)精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
測量速率:最高1000 測值/秒, 響應(yīng)時間1ms
鏡頭固定焦距,光路可定制。
物理參數(shù)
供電:12-28 VDC, 3W
存儲溫度:-20 to 70℃
環(huán)境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環(huán)境下專用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質(zhì):傳感器和鏡頭外殼,304 不銹鋼/鋁;
氣吹外殼,鋁;
惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼;
重量:標(biāo)準(zhǔn)高溫計,0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器,0.198 kg (7 oz.)



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